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AES

AES(Auger Electron Spectroscopy)装置

  SAM−650
分析領域:>約0.5μmφ
検出できる元素:Li以上
検出限界濃度:1at%
得られる情報
定性分析:ピークエネルギー値から元素を同定する(軽元素に対して有利である)
半定量分析:ピーク強度から各元素の相対的存在比率を算出する
分析精度:±5%程度(機器分析の中では高い部類)
深さ方向分析:イオンスパッタリングを併用して深さ方向の元素分布がわかる
面内分布分析:指定元素の分布がわかる(分解能:〜1μm)

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