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XPS X線光電子分光装置 ESCA−5600

X線源:MgKα(AlKα)
分析面積:約1mmφ
検出できる元素:Li〜U(H、Heは測定不可)
検出限界濃度:0.5at%程度
得られる情報
定性分析:エネルギー値から元素を特定できる
定量分析:元素間の相対的な存在量を求められる(精度:〜5%程度)
化学状態分析:元素の結合状態の同定ができる
深さ方向分析:元素の深さ方向分布が調べられる(イオンスパッタリングを併用)
X-ray Photoelectron Spectrometer-----XPS
Electron Spectroscopy for Chemical Analysis-----ESCAとも称される

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