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試料作成装置

精密イオンポリッシングシステム
GATAN 691 PIPS
TEM試料をアルゴンイオン銃により研磨して薄膜を得る装置
精密ディスクグラインダ
GATAN Model623 TEM試料をイオンポリッシング装置にセットできる厚さにする。膜厚をミクロンオーダーに正確に薄くする研磨治具
ディンプルグラインダー
GATAN Model 656 ディスクグラインダーで薄くしたTEM試料の一部分をさらに薄くする装置
イオンスパッタ
MC1000
SEM試料にイオンスパッタにより、白金をコーティングし導電化処理をする装置

家具

テンプレート