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走査電子顕微鏡

SU−8020
分解能:1.0nm
倍率:20〜800000倍
加速電圧:0.5〜30kV
電子銃:冷陰極電界放出型電子銃
試料ステージ X移動0-50mm Y移動0-50mm
Z移動1.5-30mm 傾斜-5〜70°回転360°(連続)
試料サイズ最大 100mm(直径)
反射電子像観察可能
STEM像(明視野、暗視野像)観察可能
分析:可

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